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3C-SiC — From Electronic to MEMS Devices
Jean-François Michaud 1
Mail :
Author IdHAL : jean-francois-michaud IdRef : https://www.idref.fr/084441380 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7441-8982
Marc Portail 2
Author
Daniel Alquier 1
Mail :
Author IdHAL : daniel-alquier ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1345-8195 IdRef : https://www.idref.fr/128188308
1
GREMAN - UMR 7347 - GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (Bât. E, 20 avenue Monge, 37200 Tours - France)
- INSA CVL - Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (88 boulevard Lahitolle, CS 60013, 18022 Bourges cedex - France)
- Université de Tours (60 rue du Plat d'Étain, 37020 Tours cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7347 (France)
2
CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (Bat. 5 Rue Bernard Grégory 06560 VALBONNE - France)
- UNS - Université Nice Sophia Antipolis (... - 2019) (Parc Valrose - BP 2135 - 06103 Nice cedex 2 - France)
- UCA - Université Côte d'Azur (Parc Valrose, 28 avenue Valrose 06108 Nice Cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR10 (France)
Document type :
Book sections
Complete list of metadatas
https://hal-univ-tours.archives-ouvertes.fr/hal-02132700
Contributor : Jean-Francois Michaud <>
Submitted on : Friday, May 17, 2019 - 2:10:32 PM
Last modification on : Thursday, March 5, 2020 - 12:20:09 PM
Contributor : Jean-Francois Michaud <>
Submitted on : Friday, May 17, 2019 - 2:10:32 PM
Last modification on : Thursday, March 5, 2020 - 12:20:09 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02132700, version 1
Collections
UNIV-TOURS | CNRS | UNICE | GREMAN | UNIV-COTEDAZUR | INSA-GROUPE | INSA-CVL
Citation
Jean-François Michaud, Marc Portail, Daniel Alquier. 3C-SiC — From Electronic to MEMS Devices. Advanced Silicon Carbide Devices and Processing, InTech, 2015. ⟨hal-02132700⟩
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