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Journal articles
Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films
Pierre Coddet 1
Author
Amaël Caillard 2
Author IdHAL : amael-caillard
Julien Vulliet
Author
Caroline Richard 3
Author IdHAL : caroline-richard ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/P-9086-2018 IdRef : https://www.idref.fr/060373172 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-8375-8241
Anne-Lise Thomann 4
Author
1
FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX - France)
- UTBM - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (France)
- ENSMM - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 26, rue de l'épitaphe CS 51813 25030 BESANÇON CEDEX - FRANCE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6174 (France)
- UFC - Université de Franche-Comté (France)
2
GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (14 Rue d'Issoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 - France)
- UO - Université d'Orléans : UMR 7344 (Château de la Source - Avenue du Parc Floral - BP 6749 - 45067 Orléans cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 7344 (France)
3
LMR - Laboratoire de Mécanique et de Rhéologie (EPU Dept mécanique et systèmes BP 407 F - 37204 Tours Cedex 3 France - France)
- Université de Tours : EA 2640 (60 rue du Plat d'Étain, 37020 Tours cedex 1 - France)
- Polytech'Tours (France)
- INSA CVL - Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (88 boulevard Lahitolle, CS 60013, 18022 Bourges cedex - France)
4
GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (14 Rue d'Issoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 - France)
- UO - Université d'Orléans : UMR 6606 (Château de la Source - Avenue du Parc Floral - BP 6749 - 45067 Orléans cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 6606 (France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-univ-tours.archives-ouvertes.fr/hal-01857023
Contributor : Caroline Richard <>
Submitted on : Tuesday, August 14, 2018 - 8:16:21 AM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 10:42:49 AM
Contributor : Caroline Richard <>
Submitted on : Tuesday, August 14, 2018 - 8:16:21 AM
Last modification on : Wednesday, September 16, 2020 - 10:42:49 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-01857023, version 1
- DOI : 10.1016/j.surfcoat.2018.05.065
Collections
UNIV-TOURS | CNRS | UNIV-FCOMTE | UNIV-BM | UNIV-BM-THESE | GREMI | FEMTO-ST | UNIV-ORLEANS | INSA-GROUPE | INSA-CVL
Citation
Pierre Coddet, Amaël Caillard, Julien Vulliet, Caroline Richard, Anne-Lise Thomann. Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films. Surface and Coatings Technology, Elsevier, 2018, 349, pp.133 - 143. ⟨10.1016/j.surfcoat.2018.05.065⟩. ⟨hal-01857023⟩
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