 |
|
Conference papers
Laser irradiation influence on Si/3C-SiC/Si heterostructures for subsequent 3C-SiC membrane elaboration
Jean-François Michaud 1
Author IdHAL : jean-francois-michaud IdRef : https://www.idref.fr/084441380 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7441-8982
Rami Khazaka 1, 2
Author
M. Portail 2
Author
G. Andrä 3
Author
J. Bergmann 3
Author
D. Alquier 1
Author IdHAL : daniel-alquier IdRef : https://www.idref.fr/128188308 ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1345-8195
1
GREMAN - UMR 7347 - GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies) (Bât. E, 20 avenue Monge, 37200 Tours - France)
- Université de Tours (60 rue du Plat d'Étain, 37020 Tours cedex 1 - France)
- INSA CVL - Institut National des Sciences Appliquées - Centre Val de Loire (88 boulevard Lahitolle, CS 60013, 18022 Bourges cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7347 (France)
2
CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (Bat. 5 Rue Bernard Grégory 06560 VALBONNE - France)
- UNS - Université Nice Sophia Antipolis (... - 2019) (Parc Valrose - BP 2135 - 06103 Nice cedex 2 - France)
- COMUE UCA - COMUE Université Côte d'Azur (2015 - 2019) (Parc Valrose, 28 avenue Valrose 06108 Nice Cedex 2 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR10 (France)
- UCA - Université Côte d'Azur (Parc Valrose, 28 avenue Valrose 06108 Nice Cedex 2 - France)
3
IPH - Institut für Physikalische Hochtechnologie (Winzerlaer Str. 10 D-07745 Jena - Germany)
- Friedrich-Schiller-Universität Jena (Fürstengraben 1 D-07743 Jena - Germany)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-univ-tours.archives-ouvertes.fr/hal-01741555
Contributor : Jean-Francois Michaud <>
Submitted on : Friday, March 23, 2018 - 11:24:33 AM
Last modification on : Saturday, November 7, 2020 - 4:00:03 PM
Contributor : Jean-Francois Michaud <>
Submitted on : Friday, March 23, 2018 - 11:24:33 AM
Last modification on : Saturday, November 7, 2020 - 4:00:03 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01741555, version 1
- DOI : 10.1557/adv.2016.327
Collections
UNIV-TOURS | CNRS | UNICE | GREMAN | UNIV-COTEDAZUR | INSA-GROUPE | INSA-CVL
Citation
Jean-François Michaud, Rami Khazaka, M. Portail, G. Andrä, J. Bergmann, et al.. Laser irradiation influence on Si/3C-SiC/Si heterostructures for subsequent 3C-SiC membrane elaboration. Conférence MRS Spring Meeting, Apr 2016, Phoenix, United States. pp.3649 - 3654, ⟨10.1557/adv.2016.327⟩. ⟨hal-01741555⟩
Metrics
Record views